聚四氟乙烯方槽20L耐腐蝕一體成型四氟酸缸5L

南京濱正紅儀器有限公司 2026-01-08 14:30:02

聚四氟乙烯(PTFE/PFA)清洗槽是一種高性能耐腐蝕容器,專為半導(dǎo)體、光伏、光電等行業(yè)設(shè)計(jì),采用一體成型工藝,具備耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿、耐高低溫、低溶出無(wú)污染等特性,主要用于晶圓清洗、設(shè)備零部件清洗、材料刻蝕及實(shí)驗(yàn)室器皿浸泡等場(chǎng)景。

聚四氟乙烯方槽20L耐腐蝕一體成型四氟酸缸5L
可耐受氫氟酸、硫酸、硝酸、王水等強(qiáng)酸,氫氧化鈉等強(qiáng)堿,以及各類有機(jī)溶劑(如丙酮、NMP),長(zhǎng)期使用無(wú)溶脹或降解,避免金屬離子污染樣品。
金屬元素空白值極低(鉛、鈾含量<0.01 ppb),符合半導(dǎo)體行業(yè)超凈環(huán)境要求。
一體成型設(shè)計(jì):無(wú)焊接縫,杜絕漏液風(fēng)險(xiǎn),延長(zhǎng)使用壽命。
表面光滑:內(nèi)外壁無(wú)毛刺,不掛壁,易于清洗,避免交叉污染。
方槽:適用于浸泡、清洗帶芯片硅片電池片的花籃,或存儲(chǔ)酸堿溶劑。
半導(dǎo)體制造
晶圓清洗:盛裝硫酸、氫氟酸、氨水等清洗液,去除晶圓表面污染物、顆粒和金屬雜質(zhì)。
晶圓刻蝕:盛裝氫氟酸、硝酸、磷酸等刻蝕液,對(duì)晶圓表面進(jìn)行選擇性刻蝕,形成電路圖案。
材料刻蝕:加工硅、二氧化硅等半導(dǎo)體材料時(shí),盛裝相應(yīng)刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕。
拋光液盛放:為化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝提供穩(wěn)定的化學(xué)環(huán)境,平坦化晶圓表面。
實(shí)驗(yàn)室分析
浸泡清洗溶樣杯、消解罐、試劑瓶、坩堝、燒杯等實(shí)驗(yàn)室器皿,避免交叉污染。

聚四氟乙烯方槽20L耐腐蝕一體成型四氟酸缸5L

聚四氟乙烯方槽20L耐腐蝕一體成型四氟酸缸5L

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