壓電傳感器過載的保護方法

壓電傳感器有許多參數(shù)指示器，其中之一是過載保護，過載是指高于設備本身額定負載的過載。現(xiàn)象是電流過大，電氣設備發(fā)熱，線路長期過載會下降線路的絕緣水平，甚至燒毀傳感器設備或線路；過載保護是指即使負荷高于額定負荷，線路也不會燒壞，但有一定程度，一般為150%，過載運行不可繼續(xù)。

壓電傳感器有多種類型，每種結構的過載保護設計方法也不同。許多方法都有各自的優(yōu)缺點。采用微機電系統(tǒng)技術的小量程高靈敏度壓力傳感器通常有平膜片、島膜片、梁膜等結構，在設計過載保護時通常采用凸點等方法實現(xiàn)。

形成方法包括背蝕刻技術、硅直接鍵合技術和玻璃蝕刻技術。然而，這些結構通常具有很大的局限性，因為空腔尺寸大，靈敏度進一步受到限制，并且硅晶片的利用率下降，制造工藝的復雜性增加，并且生產成本增加。

目前，小量程高靈敏度壓電傳感器的研究主要集中在犧牲層結構的壓力傳感器上。這主要是因為犧牲層結構壓力傳感器的彈性膜片很薄，厚度可以是2m甚至更薄。

在這樣薄的結構中，如果采用擴散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層結構壓力傳感器的應變電阻，其厚度相對較大，這對彈性膜片的應力分布有很大影響，不利于犧牲層結構壓力傳感器的性能優(yōu)化。因此，通過使用多晶硅納米薄膜來制造應變電阻器，可以進一步利用犧牲層技術的優(yōu)點。

過載保護是每個傳感器都要考慮的因素，因為在使用過程當中，測量值可能會大于范圍。只有設計有過載保護的傳感器才能更好地使用，并且可以使用更長時間。

如何為每個壓電傳感器設計過載保護有不同的過載范圍，所以無論你買什么樣的傳感器，你都必須知道它有多少過載保護，以便將來可以更方便地使用。由于過載，沒有電路燒壞。