實驗室超高純氣體管道系統(tǒng)閥門的選用有那些？

　　超高純氣體管道系統(tǒng)所用閥門的密封性有非常嚴格的要求。目前國內實驗室高純氣體管道閥門基本采用SS316L不銹鋼材質。閥門類型包括減壓閥、隔膜閥、波紋管閥和球閥。

　　減壓閥又稱減壓閥，用于控制氣體的壓力，波紋管閥的密封性優(yōu)于球閥。當氣體流經閥門時，沒有填料與外界環(huán)境接觸，故無泄漏現象：隔膜閥的密封性除與波紋管閥相當外，閥體死體積小，易吹散，污染少，所以適用于對氣體純度和生產工藝要求極嚴格或者危險性大的氣體。

　　實驗室超高純氣體管道系統(tǒng)安裝要求

　　1、高純氣體一般采用套圈接頭和自動氬弧軌道焊連接。焊接式通常采用承插焊和對焊，承插焊接的優(yōu)點在于焊接時管子對正，便于焊接，但缺點是由于管子與承插 口之間存在間隙， 是一個不易吹走雜質的“死角”，影響高純氣體的質量。內表層不得使用焊縫，即施工時不得使用不銹鋼焊絲，應將母材本身熔化填滿焊縫。

　　2、為保證輸送至用氣設備的氣體質量，高純氣體管道與用氣設備之間應使用不銹鋼金屬軟管，不得使用非金屬軟管。

　　3、超高純氣體管道系統(tǒng)與閥門等附件的連接應采用不易泄漏的專用接頭。常用的接頭有兩種：VCR 和 SWG。VCR采用優(yōu)良的金屬墊，縱向加壓壓縮，因此泄漏率極低。約10～9A cc/s，具有較高的耐壓性。常用于氣體雜質含量為1.0×10-9的高純氣體輸送系統(tǒng)。SWG不如VCR，耐壓性較低。基本上，這兩種接頭方法的安全性足以替代焊接方法。