文章摘要： 干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和碾磨微粒；3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵
干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面： 1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和碾磨微粒； 3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求； 4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要避免有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 5）用做一般無油清理真空系統(tǒng)的前級泵，以避免油污染。
干式真空泵
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