購買干式真空泵的注意事項

為了適應不同的使用要求，干式真空泵被分為許多不同類型的設備。對此，為了適應不同的使用需求，下面將介紹如何準確挑選它們。

不同類型的干式真空泵，我們總是渴望可以減小它們的物理尺寸。然而，這與真空泵的抽速相矛盾，真空泵的抽速與干式真空泵的體積成正比。更小的物理尺寸意味著更小的體積。當然，影響干式真空泵抽速的另一個重要因素是轉速。為了使小型真空泵的吸氣速度與大型真空泵的吸氣速度相匹配，需要提高速度。改變干式真空泵轉速的方法有兩種，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器；另一種是改變變速箱的傳動比。其中，使用變頻器的優(yōu)點是可以提供閉環(huán)控制，但在重載下容易造成轉矩損失。改變變速箱的傳動比是一種非常經濟的方法，當然也只能提供單速，不可控。

意外的干式真空泵錯誤會下降機器效率，影響晶圓生產和交付，甚至造成晶圓報廢和其他部件的加工損壞。由于螺桿設計采用單級設計，與球槽、爪形、組合等多級泵相比，所用零件數量可減少60%。這對于干式真空泵的穩(wěn)定性和未來的維護成本來說是一個很大的優(yōu)勢。

一般來說，如果用戶認為功耗對他來說很重要，那么挑選內壓螺桿干式真空泵可能是一個不錯的挑選，氮含量對他來說并不重要。但總的來說，對廢氣處理的要求越來越嚴格，未來減少氮氣的使用就顯得尤為重要。如果您想在不使用簡單的庫存控制泵進行更改的情況下處理各種半導體工藝，則外部壓縮螺桿干式真空泵是一個不錯的挑選。

結合所有上述設計類型的優(yōu)點將是理想的，具體取決于具體情況，但目前還不可能。因此，用戶需要了解干式真空泵的設計類型，然后根據自己的工藝特色了解不同類型泵設計的影響。這種挑選可以下降干式真空泵的使用成本，獲得更長的使用年限和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。